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TGV電鍍機
wafer尺寸:6寸 8寸 12寸
板級最大尺寸 : 510*515
深寬比:1:1-15:1
襯底材料: 玻璃、石英
填充材料:Cu
玻璃厚度:200um-800um
最小通孔直徑:10um
過孔間距/直徑:2:1
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TGV電鍍實驗機
* 技術參數:
1.手動提取掛具,自動電鍍(可定制自動方式)
2.通孔直徑:10 μm–120 μm(可實配)
3.深寬比:1:1-20:1
4.基板規格:玻璃基板尺寸:≤ 510 mm ×515 mm(支持定制)
基板厚度:0.1–2 mm
5.填充材料:銅(Cu)
6.自動化控制: PLC控制,支持多參數程序化設定,實時監測鍍層厚度
7.人機交互界面... MORE +
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