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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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