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全自動水平式濕法刻蝕設備
全自動水平式濕法刻蝕設備
全自動水平式濕法刻蝕設備,利用EFEM晶圓傳輸模塊實現晶圓全自動工藝運行.
產品特點
1.產能高,WPH高; 2.優秀的腔體環境; 3.高效的化學品回收系統; 4.支持多種化學品; 5.刻蝕均勻性好; 6.優秀的干燥效果。
應用領域
晶圓制造等
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