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SRD濕法清洗機
200mm晶圓噴涂濕法清洗機
型號：SCS-SRD09
產品特點
1.CDS獨立供液系統
2.自動補液/控溫/加熱/循環/液位感應/排放
3.視窗開合門上配有檢測傳感器，檢測Cassette放置是否到位
4.工控機+PLC控制系統
5.SPM/HF循環系統由風囊泵實現循環，SC1/SC2循環系統由磁力泵實現循環
6.化學廢液靠重力排放至廠務端廢液管道內
2.自動補液/控溫/加熱/循環/液位感應/排放
3.視窗開合門上配有檢測傳感器，檢測Cassette放置是否到位
4.工控機+PLC控制系統
5.SPM/HF循環系統由風囊泵實現循環，SC1/SC2循環系統由磁力泵實現循環
6.化學廢液靠重力排放至廠務端廢液管道內
應用領域
廣泛應用于濕制蝕刻、去膠、清洗等制程
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- 全自動晶圓化學清洗設備
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